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真空扩散泵机组操作规程

         只有在使用时遵守操作规程,才能保证系统的正常工作。前已详细叙述过有关机械泵、扩散泵的操作规程。经人们生产实践,对排气系统,也同样总结出来一套操作规程。以真空扩散泵机组为例(其他真空设备可仿照施行),其操作规程如下:
         (1)检查真空系统各部分,熟悉系统的气路结构,了解真空系统各元件的作用以及操作部分的电路联接。
         (2)关闭放气阀门,启动机械泵,对系统进行抽气,并用火花检漏器对系统各部分进行检漏。如系全金属系统,则可关闭阀门,用真空计读数记下P-t曲线(作静态升压试验)。如压强随时间呈直线上升,可判断系统有漏气源,应进行检漏。
         (3)当系统真空度达到油扩散泵的前置压强(5×10-2托)后,启动扩散泵,使加热电流逐渐升到额定值。在启动扩散泵前,先开冷却水。
         (4)扩散泵正常工作后,用火花检漏器(或热偶计)判断量测系统的真空度。到10-3托以上(热偶计近满偏或95格以上)才能使用电离真空计。使用时先对规管除气,后测量真空度。
         (5)对系统进行烘烤去气处理。对玻璃系统而言,硬玻璃烘烤温度为400℃~450℃ ,软玻璃为350℃~400℃ 。去气时间视具体要求而定,一般1~2小时。去气完后,真空度仍达不到要求,应使用电离计记P-t曲线,以判断是否漏气。亦可用丙酮、酒精等涂抹可疑处,看表针的摆动以发现漏孔。若为去气不良,应进一步烘烤,增加时间去气。新系统一般要抽较长时间才能达到预期的真空度。真空度老上不去,则要考虑系统设计、安装是否合理,有无死空间,放气源多否,维修时是否带进了脏物,被抽容器是否清洁等其他因素。
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2019/07/30 10:01:41 60 次

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